光刻机作为前道工艺七大设备之首，价值含量极大，在制造设备投资额中单项占比高达23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。 目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能
光刻机作为前道工艺七大设备之首，价值含量极大，在制造设备投资额中单项占比高达23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。
目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断，CR3高达99%。在当前局势下，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义。
我们精选了方正证券发布的《光刻机行业研究框架》与你分享，该报告分别从全球视角和国产替代角度分析了光刻机产业的发展现状和前景，并梳理出值得关注的标的公司，具体如下：
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