杏彩体育官网·半导体材料之光光刻胶产业链全梳理

发布时间:2024-11-22 04:17:35 来源:杏彩体育官网app 作者:杏彩体育平台app

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  光刻胶是集成电路的核心材料之一,光刻工艺是集成电路最重要的工艺技术,是其他步骤能正常进行的先决条件。制程时间占比约为40-60%, 光刻工艺总成本占比约为35%,光刻胶材料总成本占比约为5-6%。

  市场格局方面,全球范围内有能力制造符合当下制程要求,并稳定大规模供应的光刻胶制造商主要集中在日本与美国。其中来自日本的日本合成橡胶(JSR)、东京应化(TOK)、信越化学、富士电子、杜邦/Dow、 AZ(Merck并购)。

  根据 SEMI 相关行业报告数据,光刻胶全球市场空间约 80 亿美元,2021 至 2026 年 CAGR 约为 6%。国产替代空间巨大。

  光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分构成的对光敏感的混合液体。生产光刻胶的原料包括光引发剂及助剂(包括光增感剂、光致产酸剂,成本占比15%)、光刻胶树脂(成本占比50%)、单体(成本占比35%)等。

  强力新材是国内少数专营光刻胶原料生产的企业,兼具半导体光引发剂、 LCD 光引发剂和 PCB 光引发剂,2020 年产能分别达到 80t/a、 100t/a 和 1400t/a,后两者在建产能分别为 23t/a 和 100t/a。

  久日新材光引发剂能够应用于 PCB 油墨,收购子公司大晶信息在建年产 600 吨微电子光刻胶专用光敏剂项目,预计于 2021-2022 年投产。

  光刻胶树脂方面, 目前树脂合成专利主要被日本企业占据。国内,强力新材量产 PCB 光刻胶, 圣泉集团、彤程新材量产半导体用和平板显示用酚醛树脂。

  溶剂, 制备技术壁垒相对较低,常用材料为丙二醇甲醚醋酸酯( PGMEA 或 PMA),国内有四家主要生产厂商,分别为江苏华伦、江苏天音化学、百川股份怡达股份。

  1)光刻胶的核心技术在于产品配方, 配方需要满足产品差异化需求;生产质量和工艺参数要求非常高,研发投入时间和周期较长。

  光刻胶按照应用领域可分为 PCB 用光刻胶、显示面板用光刻胶与集成电路用光刻胶。 技术壁垒相对程度依次提升。 中国本土企业生产以技术壁垒相对较低的 PCB 光刻胶(占比94%)为主,高端光刻胶被国外巨头垄断。

  针对不同应用场景,光刻的过程有较大的区别,因此不存在配方通用的情况。仅看半导体用光刻胶,8nm、12nm、90nm等等需要的都是完全不同的配方。

  按化学反应原理分为正性和负性光刻胶,正性光刻胶的分辨率和对比度较高,适用于更小图形尺寸,目前高端市场光刻胶以正性为主,如 KrF, ArF, EUV 和 TFT 正性光刻胶;负性光刻胶具有良好的粘附能力和抗刻蚀能力,因其具有更优的感光性,要求添加的感光剂更少, 成本更低,适用于低成本、高容量的芯片。

  2)光刻胶生产需要用光刻机进行测试,光刻机行业高度垄断,只有荷兰 ASML 公司可以制造 EUV 光刻机(最高端)。

  1 台光刻机包含 13个分系统, 3 万个机械件, 200 多个传感器,共计十余万件零部件和上千条极其复杂的供应链, 具有高议价权,单台设备售价超过 1 亿欧元,且价格呈现逐年上升趋势,

  3)光刻胶本身的物理属性也有较高的要求。流动性,粘度的稳定性,与硅片的附着力,在烘烤下的稳定性,抗干蚀刻的机械强度等因素,都会影响到光刻工艺最终的良率。

  2021 年 2 月,日本福岛东部海域发生 7.3 级地震后,信越化学福岛工厂生产直接暂停,其 KrF 光刻胶产线受到严重破坏。重建一条 KrF 光刻胶产线(特别是树脂产线 年,因此光刻胶产线受损会对中短期内光刻胶供应造成十分严重的影响。

  根据中芯国际科创板 IPO 招股书中披露内容,国内主流晶圆厂的半导体光刻胶单吨售价约为 11~12 万元。

  国内光刻胶供应商包括雅克科技、南大光电、晶瑞电材彤程新材、飞凯材料容大感光上海新阳永太科技等。

  (总市值145亿,流通盘123亿,wind一致预期21年/22年归母净利2.15、3.16亿元)

  公司是国际上极少数能同时供应G5级高纯硫酸、高纯双氧水、高纯氨水的材料企业之一,被中国电子材料行业协会评为“中国电子化学品十强企业”, 光刻胶产品规模化生产近30年,达到国际中高级水准,是国内最早规模量产光刻胶的少数几家企业之一。

  光刻胶产品由公司的子公司苏州瑞红生产,苏州瑞红作为国内光刻胶领域的先驱,规模生产光刻胶近30年,产品主要应用于半导体及平板显示领域,产品技术水平和销售额处于国内领先地位。

  公司i线光刻胶已向中芯国际、合肥长鑫、士兰微、杨杰科技等行业头部客户供货,KrF光刻胶已完成中试,建成中试示范线,目前正在客户的产线上进行产品测试。ArF高端光刻胶研发正式启动,满足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻胶,所购置的ASML1900Gi型光刻机正在积极调试众,预计于2021年年底前调试完成。

  今年8月1日,原TOK中国区部长陈韦帆加入公司光刻胶事业部任总经理,8月26日,公司发布《关于变更部分募集资金用途公告》,将4500万元投入建设年产1200吨集成电路关键电子材料项目,包括光刻胶中间体1000吨和光刻胶产能1200吨,建设周期1年。

  超净高纯试剂主要产品达到国际最高纯度等级(G5),打破了国外技术垄断,制定了多项行业标准,公司一期年产3万吨G5级高纯硫酸技改项目已于2021年5月建设完工,将于2022年释放产能。

  (新能源赛道的几个龙头基金-信诚孙浩中、国投瑞银-施成,还有银华李晓星、诺安蔡嵩松三季报都在)

  近两个季度,股东户数增加,平均每户持股数降低,果然股价一涨,就有大批散户接盘,关键光刻胶能走第二波吗?

  (总市值400亿,流通市值248亿,wind一致预期21年/22年归母净利5.97、8.4亿元)

  2020 年 7 月,雅克科技子公司斯洋国际收购 LG 化学彩色光刻胶业务, 9月公司收购韩国 Cotem TFT 正性光刻胶,主要应用于 LCD 领域,正是国内缺乏的显示器用光刻胶中的高端产品,可以用于 8 代线及以上先进制程产线 年,公司拟募集资金不超过 12 亿元用于投资建设 3 个项目,投产后光刻胶产能将达到 1.968 万吨/年,成为国内

  ;光刻胶配套试剂产能将达 9 万吨/年。雅克科技光刻胶以开拓国内厂商为主,目前已覆盖国内京东方、华星光电、惠科、天马微电子、群创光电、友达光电等,韩国市场主要客户包括 LG 显示和三星显示两大面板显示巨头。

  北旭电子主要生产平板显示用光刻胶,现拥有 5000 吨 TFT 正性光刻胶;北京科华主要生产半导体用和少量平板显示用、 PCB 用光刻胶。

  北京科华微电子半导体用光刻胶目前已开发中芯国际、华力微电子、长江存储、武汉新芯、华虹半导体、华润微电子、士兰微、吉林华微电子、杭州立昂微电子、兆驰半导体等优质客户;平板显示用光刻胶已开发三安光电、晶元光电、华灿光电和德豪润达等国内重点面板厂商。

  北旭电子成立于 1994 年,主营有机正型光阻和无机特殊粉体, 是中国第一家TFT-LCD Array 光刻胶生产商, 2012 年 TFT-LCD 光刻胶项目竣工并量产, 2020 年京东方通过北交所公开挂牌转让其持有的 100%股权,后被彤程新材收购,但京东方仍然是公司 TFT 正性光刻胶的下游客户,在京东方供应中占有 40%份额。


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