《半导体行业污染物排放标准》首次发布是2006年,这次重新修订也体现了上海生态环保部门对集成电路行业的支持和重视,同时也体现了上海生态环保部门用科学、发展的眼光在管理行业的环境保护问题。
回顾2006年当时上海只有6家芯片制造厂,行业年销售额只有380亿,而2022年底上海制造企业就有17家,超过20条生产线;根据上海市集成电路行业协会的不完全统计,2022年上海集成电路产业实现销售收入首次突破3000亿元,达到3057亿元,占全国比重达到了22.3%。
集成电路产业已经成为上海市的支柱产业,也已经作为国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业,关乎国家核心竞争力和,其在信息技术领域的核心地位十分重要。
但我们也应该看到目前国内集成电路芯片制造技术与国际先进水平仍有着很大的差距,正处于持续加速追赶阶段,核心技术仍被国外封锁,同时市场、产品变化较大;我们的生产工艺细节需要不断地探索、优化、改进与升级。我们的生产线通常生产和研发并行,同时随着制造工艺技术发展,线宽越来越小,工艺步骤越来越多,因此芯片制造过程对应能耗、排污也会增加。随着芯片制造产业做大做强,工艺技术节点发展进步,势必会增加生产环节的污染物排放量、碳排放量。所以在这关键点上来修订《半导体行业污染物排放标准》显得尤为重要。
一直以来,我们协会也积极参与了这个标准的修订工作,几年来协会作为政府和企业平台,也作为本标准的编制单位,多次赴企业开展半导体企业现场调研,了解企业实际生产和污染治理情况,并组织了10多次企业座谈会,听取企业的意见建议;所以本标准的发布有着广泛的数据基础支撑。
这个标准重点关注了晶圆制造和封装测试两大细分领域,而这两大细分领域也是上海集成电路产业的根本和基础。标准在项目建设维度既包含了营运企业的水和大气污染物的排放管理,又为新建项目的环评提了全面的要求。
绿水青山就是金山银山,集成电路作为战略性、基础性和先导性行业,我们企业的环保如何做?行业的环保如何管?如何在产业发展与环境保护中找到一个优质的平衡点,这个标准也给出了发展了答案;这个标准对于随着集成电路产业工艺的不断发展,增加了部分水和大气污染物控制项目;收严了9项水污染物项目和3项大气污染物项目的排放限值;充分体现了编制团队对行业发展的了解。当然,在严格管理的同时,也尊重科学,此次标准的修订,考虑到了工厂净化厂房面积的不断增大以及工艺排风的要求;将“等效速率”这一指标进行了删除,这为行业的发展解了绑,也极大地、全面地反映了标准的科学性,充分的体现了既要管住、又要发展的原则理念。
协会殷切希望制造和封测企业要认真学好这个标准,理解好这个标准,用好这个标准,以这个标准为企业日常环保工作管理的底线,加强环保团队的建设,提高环保团队的业务能力。共同为各自企业的发展,共同为产业的发展,共同为上海的环保事业做应有的贡献。